仪器分类
全部 CVD设备 清洗腐蚀设备 光刻&键合设备 镀膜设备 刻蚀设备 磨抛&划片设备 测试设备 其它
所属单位
全部 萨本栋微米纳米科学技术研究院
所属平台
全部 亦玄馆 文宣楼 航空航天大楼 新工科大楼
预约模式
全部 按时预约 项目委托

ICP-RIE等离子刻蚀机

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  • 仪器分类:刻蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SI 500 
  • 放置房间号:洁净室Room1

半导体参数分析仪

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  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:4200-sls 
  • 放置房间号:洁净室Room6

探针式轮廓仪(台阶仪)

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  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:DEKTAK-XT
  • 放置房间号:洁净室Room6