TEMD500 电子束多功能蒸发镀膜机系统具有真空度高、抽速快、基片装 卸方便的特点。配备 1 套 E 型电子束蒸发源和 2 组电阻蒸发源、可选配在线膜 厚检测系统，具有成膜均匀、放气量小 和温度均匀的优点。除了常规低熔点金属的蒸镀以外，TEMD500 还可以蒸镀金属材料，如 Cu、Al、Au、Ag、Ti、Pt 等 可应用于制备导电薄膜等。
一次实验需要预约2.5个小时
按时计费：
| 计费名称： 独立操作（法定节假日及寒暑假期间）(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 70.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 21.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 28.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 56.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 计费名称：独立操作(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 100.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 30.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 40.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 80.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 计费名称：委托操作或设备培训(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 130.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 39.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 52.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 104.00 元 | 使用时长(小时) | |
委托计费：
| 计费名称：委托操作或设备培训(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 130.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 39.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 52.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 104.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
|---|---|---|
| 未授权资格 | 需审核 | 禁止预约 |
| 普通资格 | 需审核 | 禁止预约 |
| 资深资格 | 禁止预约 | 需审核 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
| 序号 | 标题 | 添加时间 | 操作 |
|---|
待审核
预约有效
预约完成
预约失约
预约被占用
