仪器分类
全部 CVD设备 清洗腐蚀设备 光刻&键合设备 镀膜设备 刻蚀设备 磨抛&划片设备 测试设备 其它
所属单位
全部 萨本栋微米纳米科学技术研究院
所属平台
全部 亦玄馆 文宣楼 航空航天大楼 新工科大楼
预约模式
全部 按时预约 项目委托
最新 热门

等离子增强化学气相沉积系统（PECVD）

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆

  • 仪器分类:CVD设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SI 500D 
  • 放置房间号:洁净室Room1

等离子增强原子层沉积系统（ALD）

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  • 仪器分类:CVD设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:TFS-200-PEALD 
  • 放置房间号:洁净室Room1

有机清洗台1

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  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:暂无
  • 放置房间号:思明校区亦玄馆洁净室清洗间

无机清洗台3

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  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:暂无
  • 放置房间号:思明校区亦玄馆洁净室清洗间

无机清洗台2

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  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:暂无
  • 放置房间号:思明校区亦玄馆洁净室清洗间

无机清洗台1

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆

  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:暂无
  • 放置房间号:思明校区亦玄馆洁净室清洗间

有机清洗台2

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  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:无
  • 放置房间号:----

有机清洗台3

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆

  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:无
  • 放置房间号:----

自动取液器（有机1bt）

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  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:无
  • 放置房间号:清洗间

自动取液器（有机2jj）

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  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:无
  • 放置房间号:清洗间

芯片键合机 （郭志伟）

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  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:AML-AWB-04 
  • 放置房间号:洁净室Room3

磁控溅射镀膜系统（三靶，8英寸）国产 （张春权）

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  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:DISC-SP-3200
  • 放置房间号:洁净室Room4

磁控溅射镀膜系统（三靶，6英寸）进口 （张春权）

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  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:EXPLORER-14
  • 放置房间号:洁净室Room4

电子束镀膜机

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  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:TEMD-500
  • 放置房间号:洁净室Room4

ICP-RIE等离子刻蚀机 （张春权）

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  • 仪器分类:刻蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SI 500 
  • 放置房间号:洁净室Room1