生产厂家：芬兰Beneq
型号：TFS 200
生长模式：热法、等离子法
样品尺寸：8英寸及以下
前驱体类型：三甲基铝 四氯化钛 四（二甲乙胺基）铪
生长膜种类：氧化铝、氮化铝、氧化钛、氮化钛、氧化铪
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按时计费：
| 计费名称：独立操作（法定节假日及寒暑假期间）(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 0.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 91.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 14.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 35.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 计费名称：独立操作(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 0.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 130.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 20.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 50.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 计费名称：委托操作或设备培训(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 0.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 169.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 26.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 65.00 元 | 使用时长(小时) | |
委托计费：
| 计费名称：委托操作或设备培训(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 0.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 169.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 26.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 65.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
|---|---|---|
| 未授权资格 | 需审核 | 需审核 |
| 普通资格 | 免审核 | 需审核 |
| 资深资格 | 免审核 | 免审核 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
| 序号 | 标题 | 添加时间 | 操作 |
|---|
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