70倍～7000倍范围的连续电动精确放大。

电动载物台：行程：100*100mm；

左、右方向倾斜角度：均为0-90度；并具备实时记录倾斜角度。

X,Y重复精度 ：3σn-1=±2%Z轴：σn-1≤ 1um 

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