高低温真空探针台（平台）

仪器生产商:香港 SEMI SHARE

资产编号:1705120G

资产负责人:----

购置日期:2017-06-02

仪器价格:60.60 万元

仪器产地:暂无

仪器供应商:香港 SEMI SHARE

购买经办人:----

主要配件:无

主要参数:直径为 8 英寸的真空腔体，带 4 英寸高红外透射率观察窗；直径为 6 英寸的防辐射屏腔体，带 4 英寸低红外光，高可见光透射防辐射窗和屏蔽帘；直径为 4 英寸的样品台,平整度 5 微米；六个探针臂接口，可以安装六个探针臂；一个 KF40 真空抽气口，一个快速破真空进气口；同轴制冷剂出入，能够提高使用冷剂效率（可采用液氮或者液氦）；一个 16pin 电信接口法兰，一个电信备用接口法兰；制冷剂回流冷却辐射屏回路； KF 法兰接口，系统极限真空优于 1.2E-5 Pa；漏率优于：1.3 E-10Pa.M3/s；冷剂消耗：<1.0 l/h 液氦, 0.1 l/h 液氮；常温降温至 4.5K 的时间优于：30mins；温度稳定性优于：+/- 50 mK；探针漂移量：< +/- 60 nm in 30 mins。

仪器介绍:

能够实现样品在低温真空环境的测试，实现样品在小于1E-3 Pa 真空度，4.2K 到 480K 任意温度点的精确电学测量。防辐射屏设计，样品温度均匀性好支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，探针微调移动，满足器件的高频特性测试需求。

主要仪器管理员: 曾毅波(电话:13600958229)

仪器管理员: 朋德运维(电话:13812344321)

仪器管理员: 张玉龙(电话:18959242068)

仪器管理员: 谷丹丹(电话:13606901179)

按时计费：

计费名称：独立操作（法定节假日及寒暑假期间）(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段	类型	价格	计费方式
全天	开机固定费	0.00 元	单次收取
00:00--24:00	开机费	35.00 元	使用时长(小时)
	机时补贴费	14.00 元	使用时长(小时)
	材料费	21.00 元	使用时长(小时)

计费名称：独立操作(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段	类型	价格	计费方式
全天	开机固定费	0.00 元	单次收取
00:00--24:00	开机费	50.00 元	使用时长(小时)
	机时补贴费	20.00 元	使用时长(小时)
	材料费	30.00 元	使用时长(小时)

计费名称：委托操作或设备培训(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段	类型	价格	计费方式
全天	开机固定费	0.00 元	单次收取
00:00--24:00	开机费	65.00 元	使用时长(小时)
	机时补贴费	26.00 元	使用时长(小时)
	材料费	39.00 元	使用时长(小时)

委托计费：

计费名称：委托操作或设备培训(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段	类型	价格	计费方式
全天	开机固定费	0.00 元	单次收取
00:00--24:00	开机费	65.00 元	使用时长(小时)
	机时补贴费	26.00 元	使用时长(小时)
	材料费	39.00 元	使用时长(小时)

工作时间:00:00-23:59;

最小可预约时间段:0.5 小时

最大可预约时间段:24 小时

日历最小单位:0.5 小时

最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时；普通资格用户: 0小时；资深资格用户: 0小时

最远提前预约时间: 未授权: 168 小时 0 点；普通: 168 小时 0 点；资深: 168 小时 0 点

预约保护时间:15 分钟

失约保护时间:15 分钟

断电延时时间:1 秒

最短重上电时间:5 秒

使用超时提醒:5 秒

最大有效预约次数:5 次/天

无代价撤销预约时间:1440 分钟

用户资格	工作时间	非工作时间
未授权资格	需审核	需审核
普通资格	免审核	需审核
资深资格	免审核	免审核

序号	标题	文件数量	添加时间	操作

序号	标题	添加时间	操作

待审核
预约有效
预约完成
预约失约
预约被占用

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