1、适用于各种样品的微观形貌观察和分析，结合EDS能谱仪可进行样品微区成分定性和定量以及元素分布分析；
2、结合Raith EBL系统，可进行电子束曝光工艺。
除提前协商的特殊情况外，不开放委托预约。
设备地点：翔安校区文宣楼 C107 室，管理员：15259242803，翔安SEM-QQ群：480259778（加群请备注课题组-本人姓名）。
观测要求：1、★样品必须完全烘干，不含水分；★含强磁性样品不能观测；★细粉样品（＜1um）不能直接观测，须分散在硅片/铜网上；★粗粉样品取微量粘在导电胶上，用洗耳球用力吹扫，保证无粉末掉落；
2、培训可请本课题组内有独立操作权限的同学进行，如无可在首页【培训信息】中报名；考核请约工作日 9:00-12:00，14:30-17:30，并提前联系管理员，未完成培训及考核的同学不能独立操作；
3、请勿将卡借予未通过培训及考核的同学。
按时计费：
| 计费名称：委托操作或设备培训(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 0.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 130.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 39.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 91.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 计费名称：独立操作(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 0.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 100.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 30.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 70.00 元 | 使用时长(小时) | |
委托计费：
| 计费名称：委托操作或设备培训(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 0.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 130.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 39.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 91.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
|---|---|---|
| 未授权资格 | 需审核 | 禁止预约 |
| 普通资格 | 免审核 | 免审核 |
| 资深资格 | 免审核 | 免审核 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 萨本栋微纳院翔安SEM预约方法-2022 | 1 | 2022-08-29 17:56:47 | 文件下载 |
| 2 | EBL操作规程 | 1 | 2022-08-29 17:34:55 | 文件下载 |
| 3 | SEM操作基本规程 | 1 | 2022-08-29 17:33:20 | 文件下载 |
| 4 | SEM操作概要及各项注意事项及收费标准 | 1 | 2022-08-29 17:32:33 | 文件下载 |
| 5 | EDS操作规程 | 1 | 2022-08-29 17:31:23 | 文件下载 |
| 序号 | 标题 | 添加时间 | 操作 |
|---|---|---|---|
| 1 | SUPRA 55场发射扫描电子显微镜SEM及EDS操作视频 | 2024-07-17 09:49:25 | 在线观看 |
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