磁控溅射镀膜机（二靶，4英寸）国产

  • 仪器分类：镀膜设备
  • 所属单位：校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 放置房间号：洁净室Room4
  • 规格型号：JC-500-3/D 
  • 仪器生产商：成都真空机械厂 
  • 购置日期：2003-07-01
  • 使用模式：项目委托
  • 仪器状态： （汪耀培）
仪器生产商:成都真空机械厂 
资产编号:20032648 
资产负责人:张春权
购置日期:2003-07-01
仪器价格:30.05 万元
仪器产地:四川成都
仪器供应商:----
购买经办人:张春权
主要配件:----
主要参数:1.两个直径为100mm的磁控靶 2.一套直流靶电源，功率为1KW。一套13.56MHZ的射频电源，功率为1KW 3.工件转盘转速0-20转/分可调
仪器介绍:

1．适用于溅射金属材料，如钛、铝、铜、金等金属材料。

2．适合4英寸及以下各种规格基片


            一次实验需要预约3小时，

    “预约标题”一栏 请输入 预约人姓名

主要仪器管理员: 张春权(电话:18959282629)
仪器管理员: 朋德运维(电话:13812344321)
仪器管理员: 汪耀培(电话:18965107385)

按时计费：

   计费名称：委托操作(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段 类型 价格 计费方式
全天 开机固定费 0.00 元 单次收取
00:00--24:00 开机费 35.00 元 使用时长(小时)
机时补贴费 45.00 元 使用时长(小时)
材料费 70.00 元 使用时长(小时)

委托计费：

   计费名称：委托操作(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元
计费时间段 类型 价格 计费方式
全天 开机固定费 0.00 元 单次收取
00:00--24:00 开机费 35.00 元 使用时长(小时)
机时补贴费 45.00 元 使用时长(小时)
材料费 70.00 元 使用时长(小时)
工作时间:08:30-11:30;14:30-17:30
最小可预约时间段:3 小时
最大可预约时间段:168 小时
日历最小单位:0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 未授权: 96 小时 0 点； 普通: 96 小时 0 点； 资深: 96 小时 0 点
预约保护时间:45 分钟
失约保护时间:0 分钟
断电延时时间:1 秒
最短重上电时间:1 秒
使用超时提醒:120 秒
最大有效预约次数:5 次/天
无代价撤销预约时间:1440 分钟
用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格 需审核 禁止预约
普通资格 需审核 禁止预约
资深资格 禁止预约 需审核
序号 标题 文件数量 添加时间 操作
序号 标题 添加时间 操作

  • 待审核

  • 预约有效

  • 预约完成

  • 预约失约

  • 预约被占用

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