仪器分类
全部 CVD设备 清洗腐蚀设备 光刻&键合设备 镀膜设备 刻蚀设备 磨抛&划片设备 测试设备 其它
所属单位
全部 萨本栋微米纳米科学技术研究院
所属平台
全部 亦玄馆 文宣楼 航空航天大楼 新工科大楼
预约模式
全部 按时预约 项目委托

场发射扫描电子显微镜

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  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 文宣楼
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:SUPRA55 SAPPHIRE
  • 放置房间号:翔安校区文宣楼C107电镜室

磁控溅射镀膜系统(三靶,6英寸)进口

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  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:EXPLORER-14
  • 放置房间号:洁净室Room4

ICP-RIE等离子刻蚀机

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  • 仪器分类:刻蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:SI 500 
  • 放置房间号:洁净室Room1

光刻键合机(MA6)

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  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:MA6BA6 
  • 放置房间号:洁净室Room3

原子力显微镜

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  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Cypher  S
  • 放置房间号:洁净室Room6

X射线衍射仪

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  • 仪器分类:测试设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 文宣楼
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:XRD-7000 
  • 放置房间号:翔安校区文宣楼C107电镜室