仪器分类
全部 CVD设备 清洗腐蚀设备 光刻&键合设备 镀膜设备 刻蚀设备 磨抛&划片设备 测试设备 其它
所属单位
全部 萨本栋微米纳米科学技术研究院
所属平台
全部 亦玄馆 文宣楼 航空航天大楼 新工科大楼
预约模式
全部 按时预约 项目委托

自动取液器(有机2jj)

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  • 仪器分类:清洗腐蚀设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:
  • 放置房间号:清洗间

光刻键合机(MA6)

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  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:MA6BA6 
  • 放置房间号:洁净室Room3

光刻机(OAI)

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:OAI MODEL 200
  • 放置房间号:洁净室Room3

等离子体去胶机

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  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:Q150 
  • 放置房间号:洁净室Room1

芯片键合机

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  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托,按时预约
  • 规格型号:AML-AWB-04 
  • 放置房间号:洁净室Room3

自动取液器(显影液)

校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院

  • 仪器分类:光刻&键合设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院
  • 使用模式:按时预约
  • 规格型号:
  • 放置房间号:光刻间

磁控溅射镀膜机(二靶,4英寸)国产 (汪耀培)

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  • 仪器分类:镀膜设备
  • 所属单位:校内 > 萨本栋微米纳米科学技术研究院 > 亦玄馆
  • 使用模式:项目委托
  • 规格型号:JC-500-3/D 
  • 放置房间号:洁净室Room4